钯管式氢气纯化器
产品简介
钯管式氢气纯化器是利用钯膜选择性透氢的特性，在钯膜一侧通入粗氢另一侧可得到超纯氢气。超纯氢气可用于大学、实验室以及工业化生产，特别在半导体终端和核军工上有不可替代性。
产品特点
技术参数
| 技术参数 | 净化前原氢指标（GB/T3634.2-2011） | 净化后超纯氢指标 |
|---|---|---|
| 纯度 | ≥99.999% | ≥99.9999999% |
| 含烃（以甲烷计，ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含O2（ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含N2（ppm） | ≤5ppm | ≤0.001ppm |
| 含H2O（ppm） | ≤3ppm | ≤0.001ppm |
| C的氧化物（ppm） | ≤2ppm | ≤0.001ppm |
