全自动氙气纯化器

产品简介

氙二塔出来后，氙气中的杂质有氟化物、N2、O2、Kr，Ar、CO2、CO、H2O、烃类等，这其中可通过纯化设备净 化的杂质有：氟化物、N2、O2、CO+CO2、烃类，不能纯化的杂质有：Kr、Ar。可纯化的杂质在经过纯化器后各分项指标均低于0.1ppm。

产品特点

双塔结构，一用一备，互不影响
无需高温激活，不会产生气堵现象
可实现远程监控，远程故障报警
与氙气接触部分均采用316L SS EP材质
整机漏率≤1*10-10mabr.L/S.He
纯化后气体满足氙气新国标
全自动化

    技术参数

    杂质种类原气指标纯气指标
    O2≤2PPM≤0.05PPM
    H2O≤2PPM≤0.1PPM
    H2≤1PPM≤0.1PPM
    N2≤2PPM≤0.1PPM
    CO2≤1PPM≤0.05PPM
    CO≤1PPM≤0.05PPM
    CH4≤1PPM≤0.05PPM
    CF4≤100PPM≤0.05PPM
    C2F6≤50PPM≤0.05PPM
    SF6≤50PPM≤0.05PPM
    N2O≤2PPM≤0.05PPM

    028-85571932
    028-85571932